EM Resist社製各種レジスト
半導体レジスト電子線レジスト

メーカー

EM Resist Ltd.

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カテゴリー

教育・研究機器理学工学

タグ

応用物理学材料設計ナノ材料半導体材料・加工

EM Resist社製各種レジストの製品概要

20年以上にわたり電子線リソグラフィおよびナノ加工用材料を専門的に開発している、イギリス EM Resist社製のレジスト(感光材)。
電子線レジスト (Electron Beam Resist/EB resist) を中心に、フォトレジストも取り扱っております。

主な用途

ウエハー上に回路パターンを形成
イオン注入向けマスク
選択的エッチングを行うためのマスク
ウエハー表面の保護(パッシベーション)
半導体CMPプロセスで使用領域を規定

研究分野

ナノリソグラフィ
イオンビーム技術
マイクロファブリケーション技術
半導体製造技術

EM Resist社製各種レジストの製品仕様

EM Resist 社では、以下のレジストを取り扱っています。

電子線レジスト
- ポジ型：SML Resist / PMMA Resist
- ネガ型：HSQ Resist
フォトレジスト
- ポジ型：-
- ネガ型：SU-8 Resist

取り扱いレジストの主な特徴

SML レジスト

高解像度でプラズマエッチングに対する耐性に優れたマスク。大規模集積回路 (LSI) 製造工程において、超LSI向けの微細加工に使用される。

PMMA レジスト

高解像度と加工精度に優れたマスク。高アスペクト比の微細パターン形成が可能で、ナノインプリントリソグラフィーや、MEMSやNEMS分野の研究開発に使用される。

HSQ レジスト

高解像度かつエッチング耐性に優れたマスク。ナノデバイスや量子ドットの製造、ナノスケールの構造作成に適し、半導体製造やMEMSの製造プロセスでも使用される。

SU-8 レジスト

厚膜形成と機械的強度に優れたマスク。MEMSやマイクロ流体デバイス、バイオチップの製造における厚膜構造や高アスペクト比のパターン形成に広く使用される。

メーカーサイトURL

https://www.emresist.com/

EM Resist SML Resist

SML Resist / 詳細（メーカーページ）

低加速電圧でも近接効果補正を使用せずに、高解像度・高アスペクト比のパターンに同時にパターニングが可能な、特別に設計された新しいレジスト。

レジスト膜厚は以下からお選びいただけます。

SML50 : 40nm – 100nm
SML100 : 90nm – 210nm
SML300 : 250nm – 600nm
SML600 : 575nm – 1300nm
SML1000 : 990nm – 2000nm
SML2000 : 1800nm – 5000nm

ご希望のボトルサイズ(容量)をお知らせください
50mL/100mL/150mL/200mL/250mL/500mL/750mL/1000mL

製品詳細

Very high resolution : <10nm
Very high aspect ratio :
… >10:1 @ 30 kV
… >50:1 @ 100 kV
Thickness : 50 nm – 2000 nm
Superior LER/LWR
Very straight sidewalls
Excellent surface adhesion (HMDS not required)
Excellent etch resistance

推奨処理条件

Casing solvent : Anisole
Pre-bake : 180°C for 2 minutes
Exposure : 200-500 μC/cm2 @ 30kV
Developer : MIBK:IPA (1:3) for 30s. All other PMMA developers will also work with SML resist.
Stopper : IPA for 15s
Remover : Acetone

※レジストの保存可能期間は12ヶ月です。直射日光を避け、常温で保存してください。

SML Resist 写真 ※クリックで拡大します

写真はともに50mLのボトル。

EM Resist

PMMA Resist / 詳細（メーカーページ）

業界標準のPMMA（ポリメチルメタクリレート）レジスト。

Molecular Weight（分子量）を 950K / 495K / 120K / 35K からお選びいただけます。

Dilutions（希釈度）は以下からご指定いただけます。

950K / 495K … A2〜A10
120K / 35K … A2〜A12

ご希望のボトルサイズ(容量)をお知らせください
250mL/500mL//1000mL/1500mL/2000mL/2500mL/3000mL

また T型ゲートなどの二層レジスト用途にPMMAと組み合わせて使用可能な P(MMA-MAA)コポリマーレジスト もございます。
P(MMA-MAA)は高感度ポジトーンレジストとして単独で使用することもできます。

PMMA Copolymer Resist P(MMA(8.5)MAA) EL13 (250mL)

※EL13 : Ethyl Lactate（乳酸エチル）13% solid content

その他の固形分／容量をご希望の際にはお問い合わせください。

推奨処理条件

Casing solvent: Anisole
Pre-bake: 180°C for 2 minutes
Exposure: 100-300 μC/cm2 @ 30kV
Developer: MIBK:IPA (1:3) for 30s. All other PMMA developers will also work with SML resist.
Stopper: IPA for 15s
Remover: Acetone

※レジストの保存可能期間は12ヶ月です。直射日光を避け、常温で保存してください。

EM Resist

HSQ Resist / 詳細（メーカーページ）

優れたエッチング特性を有する高解像度ネガ型電子ビームレジスト。

濃度を 1% / 2% / 4% / 6% からお選びください。
標準のボトルサイズ（容量）は50mLとなります。
その他の濃度（1%〜40%までお選びいただけます）や容量をご希望の際はお問い合わせください。

あらかじめMIBKで希釈・ろ過された状態の「in Solution」タイプの他、HSQパウダー、乾燥MIBK、クリーンボトル、フィルター、シリンジで構成された「Powder Kit」タイプもございます。
Powder Kitはユーザー自身でカスタム希釈を行うことができ、またレジストの保存期間の延長とレジスト性能を保つことができます。

製品詳細

Direct write and thin uniform films
High resolution (<10 nm features)
Excellent line edge roughness
Good dry etch resistance
Available in powder form to meet every need
Improved shelf life of liquid form and very long shelf life at RT in powder form
Available in concentrations from 1% to 40%

EM Resist SU8

製品名	膜厚範囲	コーティングオプション
GM1010	0.2 μm	スプレーコート
GM1020	0.2 – 0.5 μm	スピン、スプレー、インクジェット
GM1030	0.5 – 1.2 μm	スピン、スプレー、インクジェット
GM1040	0.9 – 3.2 μm	スピン、スプレー、インクジェット
GM1050	3 – 8 μm	スピン、インクジェット
GM1060	2 – 27 μm	スピン、インクジェット
GM1070	15 – 200 μm	スピン、インクジェット
GM1075	100 – 400 μm	スピン、インクジェット

・Substrate preparation
・Spin coating
・Relaxation time to improve the surface uniformity
・Soft-bake
・Exposure to initiate cross-linking
・Post exposure bake
・Development
・Rinse & Dry
・Optional hard bake

レジスト用の現像液(Developers) および剥離液(Remover)もございます。
詳細（メーカーページ）

近接効果補正とは

近接効果補正とは、微細なパターンを形成する際に生じる近接効果(パターン同士が影響し合う現象)を補正する技術です。
SML Resist / PMMA Resistは、微細な構造物を高精度に作製する際に近接効果を考慮した特殊なレジストです。例えば、高密度の集積回路やMEMSデバイスなどでの微細なパターン形成に適しています。

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STEP 05

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ご注文いただいた商品がダウンロードソフトウェアやライセンス、レポート等の場合は「電子デリバリー」にてお届けいたします。

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ただし「納品後一週間以内」の初期不良品については、正常動作の同品もしくは同等品と無償交換させていただきます。
万一在庫切れの場合は同等品交換もしくは全額返金いたします。

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